คำอธิบายเทคโนโลยีการสอบเทียบอุณหภูมิสำหรับเทอร์โมมิเตอร์เตาหลอมอุณหภูมิสูง

มีรายงานว่าเตาหลอมที่อุณหภูมิสูงใช้ระบบควบคุมแบบวงปิดซึ่งประกอบด้วยตัวควบคุมอุณหภูมิ PLD แบบดิจิทัลแบบเร่ง เทอร์โมคัปเปิล ไพโรมิเตอร์ และแหล่งความร้อน เพื่อควบคุมอุณหภูมิได้อย่างถูกต้อง ด้วยการควบคุมร่วมกันของหลอดฮาโลเจนในภูมิภาคต่างๆ ความแตกต่างของอุณหภูมิในแต่ละภูมิภาคสามารถชดเชยได้ในระหว่างกระบวนการควบคุมอุณหภูมิ ทำให้อุณหภูมิของภูมิภาคต่างๆ บนซับสเตรตไม่เปลี่ยนแปลง เนื่องจากการติดตั้งไว้ที่ด้านล่างของช่อง ไพโรมิเตอร์จึงสามารถรับรังสีจากด้านหลังของสารตั้งต้นเท่านั้น และไม่สามารถรับรังสีจากหลอดไฟได้ ดังนั้นไพโรมิเตอร์จึงสามารถวัดอุณหภูมิของพื้นผิวได้อย่างแม่นยำ หลักการสอบเทียบอุณหภูมิของไพโรมิเตอร์นี้มีดังต่อไปนี้:
1. ข้อมูลเบื้องต้นเกี่ยวกับไพโรมิเตอร์:
ไพโรมิเตอร์ที่แนะนำในบทความนี้คือไพโรมิเตอร์แบบการแผ่รังสีความร้อน เมื่อไพโรมิเตอร์ได้รับรังสีอินฟราเรดจากวัตถุที่วัด สัญญาณแสงจะถูกกรอง แปลงโฟโตอิเล็กทริก และขยายให้เป็นสัญญาณอะนาล็อก ซึ่งจากนั้นจะถูกส่งไปยังโมดูลวงจรอินเทอร์เฟซสัญญาณของเซ็นเซอร์ โมดูลนี้ทำการแปลง A/D บนสัญญาณและแปลงเป็นสัญญาณดิจิทัลที่คอมพิวเตอร์สามารถรับรู้ได้ สัญญาณดิจิทัลที่ป้อนกลับไปยังคอมพิวเตอร์เรียกว่าค่าป้อนกลับของไพโรมิเตอร์ในข้อความต่อไปนี้
2. ตารางสอบเทียบอุณหภูมิ:
ตามกฎหมายที่เกี่ยวข้อง อุณหภูมิของวัตถุมีความสัมพันธ์กับรังสีและการแผ่รังสีสเปกตรัม สำหรับเตาหลอมที่อุณหภูมิสูง ปริมาณรังสีที่ได้รับจากไพโรมิเตอร์ส่วนใหญ่ขึ้นอยู่กับปัจจัยต่างๆ เช่น วัสดุของสารตั้งต้น สารเติม ชั้นออกไซด์ตามธรรมชาติบนพื้นผิว และอุณหภูมิของสารตั้งต้น สำหรับซับสเตรตประเภทเดียวกัน (เช่น ซับสเตรตที่มีวัสดุเหมือนกัน สารโด๊ป และชั้นออกไซด์ตามธรรมชาติของพื้นผิว) ปริมาณรังสีที่ได้รับจากไพโรมิเตอร์จะสัมพันธ์กับอุณหภูมิของซับสเตรต ดังนั้น สำหรับวัสดุพิมพ์ประเภทเดียวกัน ค่าป้อนกลับของไพโรมิเตอร์จะสอดคล้องกับอุณหภูมิของวัสดุพิมพ์แบบหนึ่งต่อหนึ่ง ความสอดคล้องนี้ประกอบขึ้นเป็นข้อมูลการสอบเทียบอุณหภูมิ และใช้ตารางสอบเทียบอุณหภูมิเพื่อจัดเก็บข้อมูลความสัมพันธ์ระหว่างอุณหภูมิของวัสดุพิมพ์หลายค่าและค่าป้อนกลับจากไพโรมิเตอร์ อุณหภูมิที่แตกต่างกันสอดคล้องกับค่าป้อนกลับที่แตกต่างกันของไพโรมิเตอร์ คอมพิวเตอร์เตาหลอมอุณหภูมิสูงสามารถคำนวณอุณหภูมิที่แท้จริงของวัสดุพิมพ์โดยอิงตามค่าสัญญาณตอบรับจากไพโรมิเตอร์และตารางสอบเทียบอุณหภูมิ