วิธีการวัดความหนาของฟิล์มของเครื่องเคลือบสูญญากาศ?

วิธีการวัดความหนาของฟิล์มของเครื่องเคลือบสูญญากาศ?

หลังจากใช้เครื่องเคลือบสูญญากาศในการเคลือบฟิล์มแล้ว อาจจำเป็นต้องวัดความหนาของชั้นฟิล์ม การวัดความหนาของชั้นฟิล์มใช้วิธีใด

วิธีการควบคุมการเคลือบโดยตรงที่สุดคือวิธีควอตซ์คริสตัลไมโครบาลานซ์ (QCM) เครื่องมือนี้สามารถขับเคลื่อนแหล่งกำเนิดการระเหยได้โดยตรงและขับเคลื่อนแผ่นกั้นผ่านการควบคุม PID เพื่อรักษาอัตราการระเหย

ตราบใดที่เครื่องมือเชื่อมต่อกับซอฟต์แวร์ควบคุมระบบ ก็จะสามารถควบคุมกระบวนการเคลือบทั้งหมดได้ แต่ความแม่นยำของ (QCM) มีจำกัด ส่วนหนึ่งเป็นเพราะตรวจสอบคุณภาพของสารเคลือบที่สะสมอยู่มากกว่าความหนาของแสง

นอกจากนี้ แม้ว่า QCM จะเสถียรมากที่อุณหภูมิต่ำ แต่จะไวต่ออุณหภูมิมากที่อุณหภูมิสูงขึ้น ในระหว่างการให้ความร้อนเป็นเวลานาน เป็นการยากที่จะป้องกันไม่ให้เซ็นเซอร์ตกลงไปในพื้นที่ที่บอบบางนี้ ซึ่งทำให้เกิดความผิดพลาดอย่างมากในฟิล์ม

การตรวจสอบด้วยแสงเป็นวิธีที่นิยมใช้ในการตรวจสอบการเคลือบที่มีความแม่นยำสูง เนื่องจากช่วยให้สามารถควบคุมความหนาของชั้นได้แม่นยำยิ่งขึ้น (หากใช้อย่างเหมาะสม)

การปรับปรุงความแม่นยำเกิดจากหลายปัจจัย แต่ปัจจัยพื้นฐานที่สุดคือการตรวจสอบความหนาของออปติก

หากใช้ปั๊มกระจายอย่างต่อเนื่องนานกว่า 6 เดือน ความเร็วในการสูบน้ำจะช้าลงอย่างเห็นได้ชัด หรือการทำงานไม่เหมาะสม เติมอากาศสู่บรรยากาศ ถอดท่อน้ำที่ต่อออก ถอดเตาไฟฟ้า และคลายเกลียวหัวฉีดระดับแรก ล้างถุงน้ำดี 1 ครั้ง แล้วล้างด้วยผงซักฟอกผสมน้ำ แล้วล้างด้วยน้ำให้สะอาด หลังจากที่น้ำระเหยและแห้งแล้ว ให้ติดตั้งปั๊มถุงน้ำดี เติมน้ำมันปั๊มแพร่ใหม่ แล้วใส่กลับเข้าไปในร่างกาย ต่อท่อน้ำ และติดตั้งเตาไฟฟ้า ดิสก์ คุณสามารถรีบูต ก่อนรีสตาร์ท ให้ความสนใจกับการตรวจจับการรั่วไหล วิธีการคือ: เริ่มปั๊มบำรุงรักษา ปิดประตู และหลังจากนั้นสองสามนาที ให้สังเกตว่าระดับสุญญากาศของปั๊มกระจายถึง 6X10 Pa หรือไม่ มิฉะนั้น จำเป็นต้องดำเนินการตรวจจับการรั่วไหล

www.superbheater.com