| อุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์|การควบคุมอุณหภูมิและความชื้นที่แม่นยำ: หลักสำคัญของวิศวกรรมกระบวนการ โซลูชันการควบคุมอุณหภูมิสำหรับอุปกรณ์กระบวนการเซมิคอนดักเตอร์!

Sep 04, 2026

ฝากข้อความ

ความผันผวนของผลผลิตการพิมพ์หิน?

ความสม่ำเสมอในการพัฒนาไม่เพียงพอ?

การเบี่ยงเบนความแม่นยำของการรับแสง?

การควบคุมอุณหภูมิและความชื้น THC ที่มีความแม่นยำสูง-

คือกุญแจสำคัญ!

เนื่องจากข้อกำหนดในการควบคุมอุณหภูมิของอุปกรณ์การผลิตเซมิคอนดักเตอร์เพิ่มขึ้น ORION จึงใช้ประโยชน์จากความเชี่ยวชาญและประสบการณ์ที่กว้างขวางเพื่อมอบโซลูชัน THC ที่มีความแม่นยำสูง-ให้แก่ลูกค้าทั่วโลก

เป็นเวลาหลายปีแล้วที่ ORION มุ่งมั่นที่จะวิจัยและพัฒนาและผลิตอุปกรณ์ควบคุมอุณหภูมิคุณภาพสูง- ซึ่งให้บริการในหลายอุตสาหกรรม โดยมีสถานะที่แข็งแกร่งเป็นพิเศษในสาขาอุปกรณ์การผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ครั้งนี้ พวกเขากำลังเปิดตัวผลิตภัณฑ์ควบคุมอุณหภูมิของเหลวและก๊าซสำหรับกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ที่มีคุณสมบัติ-ปราศจากฟลูออรีน ย่อส่วน และมีความแม่นยำสูง-

คุณสมบัติของการควบคุมกระแสเชิงเส้นสำหรับองค์ประกอบ Peltier

การใช้การควบคุมกระแสเชิงเส้นขององค์ประกอบ Peltier ช่วยให้ประหยัดพลังงาน แม่นยำ และทนทาน

คุณสมบัติผลิตภัณฑ์โอไรออน

ประหยัดพลังงานได้ถึง 60% เมื่อเทียบกับการเปิด-ปัจจุบัน

ความแม่นยำในการควบคุมที่สูงขึ้นเมื่อเทียบกับการเปิด-ปัจจุบัน

อายุการใช้งานที่ยาวนานขึ้นขององค์ประกอบ Peltier เนื่องจากอุณหภูมิที่ลดลงและความเค้นทางไฟฟ้า (ความผันผวน)

ใช้องค์ประกอบ Peltier ที่ทนต่อความเครียดทางความร้อน- (องค์ประกอบ Peltier ทางเคมี)

ฟังก์ชั่นการแสดงผล (จอแสดงผลเอาต์พุตปัจจุบันขององค์ประกอบ Peltier) ช่วยปรับการตั้งค่า PID ให้เหมาะสม จึงช่วยยืดอายุการใช้งานขององค์ประกอบ Peltier (Peltier ทางเคมี)

เมื่อเทียบกับการทำงานแบบเปิด- อุปกรณ์นี้มีอายุการใช้งานยาวนานกว่า

01 ETN·ETDM Series เครื่องควบคุมอุณหภูมิที่แม่นยำสำหรับโซลูชันเคมี

- ประเภทเพลเทียร์ -

[ภาพ]
ความแม่นยำในการควบคุมอุณหภูมิ: ±0.1 องศา

ช่วงการควบคุมอุณหภูมิ: 5 ~ 60 องศา

ความเย็น: 250~950 วัตต์

ความจุความร้อน: 500~2000 วัตต์

ของเหลวควบคุม: สารละลายเคมีและน้ำบริสุทธิ์พิเศษ

ตัวอย่างการใช้งาน: อุปกรณ์ทำความสะอาด (การกัด การทำความสะอาดแผ่นเวเฟอร์ การทำความสะอาด CMP)

เนื่องจากการใช้ตัวแลกเปลี่ยนความร้อนเทฟลอนแบบเต็มในบริเวณที่สัมผัสกับของเหลว จึงสามารถควบคุมอุณหภูมิของสารละลายเคมีได้โดยตรง หากต้องการข้อมูลโดยละเอียด โปรดติดต่อสำนักงานขาย

เครื่องแลกเปลี่ยนความร้อนแบบท่อ

แผ่นแลกเปลี่ยนความร้อน

เครื่องควบคุมอุณหภูมิของเหลวความแม่นยำสูง- ETU Series

- ประเภทเพลเทียร์ -

ภาพ
ความแม่นยำในการควบคุมอุณหภูมิ: ± 0.03 องศา

ช่วงการควบคุมอุณหภูมิ: 10 ~ 60 องศา

ความเย็น: 200~1400 วัตต์

ความจุความร้อน: 400~2000 วัตต์

ของไหลควบคุม: น้ำสะอาด, น้ำบริสุทธิ์, สารละลายเอทิลีนไกลคอล

ตัวอย่างการใช้งาน: การควบคุมอุณหภูมิสำหรับเครื่องจักรเคลือบและพัฒนา อุปกรณ์การพิมพ์หินอิเล็กตรอน อุปกรณ์เปิดรับแสง และการควบคุมอุณหภูมิของแท่นวางตำแหน่ง

การปรับแต่ง:

① การควบคุมความแม่นยำสูง - ±0.01 องศา

2 ฟลูออรีน-ประกอบด้วยสารควบคุมอุณหภูมิของเหลว

หากต้องการข้อมูลโดยละเอียด โปรดติดต่อสำนักงานขาย

ACU Series เครื่องควบคุมอุณหภูมิความแม่นยำของอากาศอัด

- ประเภทเพลเทียร์ -

ความแม่นยำในการควบคุมอุณหภูมิ: ± 0.01 องศา

ช่วงการควบคุมอุณหภูมิ: 15 ~ 40 องศา (ACU2000B)

อัตราการไหล: 30~2100 ลิตร/นาที

ของไหลควบคุม: อากาศอัด

ตัวอย่างการใช้งาน: เครื่องรับแสง อุปกรณ์พิมพ์หินอิเล็กตรอน ฯลฯ

APE Series เครื่องควบคุมอุณหภูมิการระบายอากาศ