ประเด็นหลักของเตาผลึกเดี่ยวที่ต้องควบคุม

ประเด็นหลักของเตาผลึกเดี่ยวที่ต้องควบคุม

 

1. เส้นผ่านศูนย์กลางคริสตัล (ขนาด)

2. อุณหภูมิ (การควบคุมพลังงาน)

3. วัตถุดิบ (วัสดุซิลิกอน)

4. อัตราการรั่วไหล คุณภาพอาร์กอน ฯลฯ

วัสดุเตาคริสตัลเดี่ยว:

 

หลังจากวัสดุเสร็จสมบูรณ์แล้ว ให้ตรวจสอบว่ามีวัสดุซิลิกอนที่ยังไม่ละลายอยู่ที่ผนังด้านในของถ้วยใส่ตัวอย่างหรือไม่ หากมีวัสดุซิลิกอนที่ยังไม่ละลาย การชนกับซิลิกอนที่ยังไม่ละลายเมื่อแผงป้องกันความร้อนลดลงจะทำให้เกิดความผันผวนของระดับของเหลวในเบ้าหลอมและส่งผลต่อการเติบโตของแท่งซิลิกอน

ระบายอากาศซ้ำด้วยแก๊ส Ar และอพยพกระบวนการนี้เพื่อระบายออกซิเจนในตัวเตาเพื่อหลีกเลี่ยงออกซิเจนตกค้าง

ส่งผลต่อปริมาณออกซิเจนของแท่งซิลิคอนโมโนคริสตัลไลน์

กระบวนการของเตาผลึกเดี่ยวของ Czochralski:

 

กำลังโหลด→สูญญากาศ→การถลุง→ผลึกเมล็ดและฟิวชั่นซิลิคอนหลอมเหลว→ผลึกเมล็ด→การตั้งค่าไหล่→การหมุนไหล่→เส้นผ่านศูนย์กลางเท่ากัน→สิ้นสุด

ระบบควบคุมการขับเคลื่อนเตาคริสตัลเดี่ยว:

 

ระบบส่งกำลังประกอบด้วยคริสตัลไรซ์, คริสตัลเทิร์น, แพนไรซ์, แพนเทิร์น โดยทั่วไปจะใช้มอเตอร์มาตรวัดรอบและขับเคลื่อนด้วยไฟฟ้า

วิธีการของเครื่องโคแอกเซียล ถอดแรงดันสัญญาณของการเปลี่ยนแปลงความเร็ว และแรงดันสัญญาณความเร็วด้วย

แรงดันไฟฟ้าคงที่ค่อนข้างหนา และแรงดันไฟฟ้าในการขับขี่ของมอเตอร์ขับเคลื่อนจะถูกควบคุมโดยโซนขยายสัญญาณเพื่อให้เกิดความเสถียร

วัตถุประสงค์ของความเร็วคงที่

ระบบควบคุมอุณหภูมิเตาคริสตัลเดี่ยว:

 

ใช้การผสมผสานระหว่างการป้อนกลับกำลังและการป้อนกลับอุณหภูมิเพื่อควบคุมอุณหภูมิ

ระบบสนามความร้อนเตาคริสตัลเดี่ยว:

 

ระบบสนามความร้อนประกอบด้วยเครื่องทำความร้อนด้วยกราไฟท์ เบ้าหลอมกราไฟท์ ฝาครอบฉนวนสักหลาดกราไฟท์-คาร์บอน ฝาครอบฉนวนกราไฟท์ และอิเล็กโทรดกราไฟท์

ระบบแก๊สเตาคริสตัลเดี่ยว:

 

ก๊าซ Ar ที่เข้ามาไม่เพียงแต่ทำหน้าที่เป็นตัวกลางในการถ่ายเทความร้อนเท่านั้น แต่ยังกำจัด SiO และ CO ที่ระเหยแล้วในตัวเตาเผาออกไปอีกด้วย

รอเติมแก๊ส

ระบบสูญญากาศเตาคริสตัลเดี่ยว:

 

หลังจากส่งก๊าซ Ar เข้าไปในตัวเตาแล้ว ให้ใช้ปั๊มสุญญากาศเพื่ออพยพ และทำซ้ำขั้นตอนนี้เพื่อระบายออกซิเจนในตัวเตา

หลีกเลี่ยงไม่ให้ออกซิเจนตกค้างส่งผลต่อปริมาณออกซิเจนของแท่งซิลิกอนผลึกเดี่ยว

www.superbheater.com