หลักการของวัสดุในห้องสุญญากาศของเครื่องชุบด้วยไฟฟ้าสุญญากาศถูกแยกออกจากแหล่งความร้อน
ฝากข้อความ
หลักการของวัสดุในห้องสุญญากาศของเครื่องชุบด้วยไฟฟ้าสุญญากาศถูกแยกออกจากแหล่งความร้อน
เทคโนโลยีการเคลือบผิวด้วยสุญญากาศเป็นเทคโนโลยีที่ผลิตวัสดุฟิล์มบางด้วยวิธีทางกายภาพ กระบวนการเคลือบทั้งหมดเสร็จสิ้นในห้องสุญญากาศของเครื่องเคลือบสุญญากาศ หลักการของวัสดุในห้องสุญญากาศถูกแยกออกจากแหล่งความร้อนและกระแทกพื้นผิวทางกายภาพที่จะชุบ ใช้ในการผลิตเลนส์ออปติคัล เช่น เลนส์กล้องโทรทรรศน์ในการเดินเรือ เป็นต้น จากนั้นจึงขยายไปยังสารเคลือบผิวอื่นๆ เช่น เปลือกนาฬิกาที่มีทองคำเทียม การเคลือบเครื่องมือกล และอื่นๆ
ปัญหาที่พบในการชุบฟิล์มซุปเปอร์ฮาร์ดด้วยเครื่องชุบสูญญากาศ
1. ความหยาบของผิวเครื่องมือ
ความหยาบของมันส่งผลต่อความแน่นของการเคลือบ TiN
2. การทำความสะอาดเครื่องมือก่อนชุบ
เพื่อขจัดสิ่งเจือปน เช่น ฝุ่นและไขมันบนพื้นผิวของเครื่องมือ จำเป็นต้องทำความสะอาดอย่างระมัดระวังก่อนทำการชุบเพื่อหลีกเลี่ยงการลดการยึดเกาะของฟิล์มและทำให้ฟิล์มหลุดลอก โดยปกติจะใช้น้ำมันเบนซิน แอลกอฮอล์ และสารทำความสะอาดอื่นๆ เพื่อทำความสะอาดพื้นผิวของเครื่องมือ นอกจากสารทำความสะอาดแล้ว ยังสามารถใช้การทำความสะอาดด้วยคลื่นเสียงความถี่สูง หรือแม้แต่การทำความสะอาดด้วยไอน้ำฟรีออนที่มีราคาแพง เครื่องมือที่ทำความสะอาดควรผึ่งให้แห้งเพื่อหลีกเลี่ยงมลภาวะทุติยภูมิ
3. สำหรับก๊าซที่ตกค้างในห้องเคลือบ ให้เพิ่มระดับก่อนสุญญากาศ และให้ความสนใจกับการควบคุมอัตราการรั่วไหลของอุปกรณ์ เพื่อหลีกเลี่ยงการเกิดออกซิเดชันของชิ้นงานโดยไอน้ำที่ปล่อยออกมาจากส่วนประกอบภายในอาคาร จำเป็นต้องใช้มาตรการต่างๆ เช่น แผ่นกั้นควบคุมและแผงป้องกันความร้อนเหนือพอร์ตสกัดของปั๊มหลักของปั๊มแพร่
ความสม่ำเสมอของฟิล์มเครื่องชุบสูญญากาศสามารถแบ่งออกได้เป็นสามประเภท
1. ความสม่ำเสมอของความหนาสามารถเข้าใจได้ว่าเป็นความหยาบ ในระดับของฟิล์มกรองแสง (นั่นคือ 1/10 ความยาวคลื่นต่อหน่วย ประมาณ 100A) ความสม่ำเสมอของการเคลือบสูญญากาศนั้นค่อนข้างดี และสามารถขจัดความหยาบออกได้ง่าย ระดับการควบคุมอยู่ภายใน 1/10 ของความยาวคลื่นของแสงที่มองเห็นได้
2. ความสม่ำเสมอขององค์ประกอบทางเคมี กล่าวคือ ในภาพยนตร์เรื่องนี้ องค์ประกอบระดับอะตอมของสารประกอบจะทำให้เกิดลักษณะที่ไม่สม่ำเสมอได้ง่ายเนื่องจากขนาดที่เล็ก
3. ความสม่ำเสมอของลำดับขัดแตะ: สิ่งนี้กำหนดว่าฟิล์มเป็นผลึกเดี่ยว โพลีคริสตัลไลน์ หรืออสัณฐาน ซึ่งเป็นประเด็นร้อนในเทคโนโลยีการเคลือบสุญญากาศ
www.superbheater.com
