การเลือกและการรักษาเป้าหมายท่อความร้อนไฟฟ้าชุบสูญญากาศมีความสำคัญมาก

การเลือกและการรักษาเป้าหมายท่อความร้อนไฟฟ้าชุบสูญญากาศมีความสำคัญมาก

พัลส์: ใช้กันอย่างแพร่หลาย การพัฒนาล่าสุดของสปัตเตอร์ริ่งต้องควบคุมพารามิเตอร์ต่างๆ เช่น กระแสสปัตเตอร์ แรงดันหรือกำลังไฟฟ้า และแรงดันสปัตเตอร์ (5×10-1—1.0Pa) หากพารามิเตอร์ทั้งหมดคงที่ สามารถประมาณความหนาของฟิล์มตามเวลาที่เคลือบออกมา การเลือกและการประมวลผลของวัสดุเป้าหมายมีความสำคัญมาก ความบริสุทธิ์ควรดี พื้นผิวควรสม่ำเสมอ ไม่ควรมีฟองอากาศและข้อบกพร่อง และพื้นผิวควรเรียบและสะอาด สำหรับเป้าหมายการระบายความร้อนโดยตรง ควรสังเกตว่าวัสดุเป้าหมายจะบางลงหลังจากการสปัตเตอร์ และมีความเป็นไปได้ที่จะเกิดการแตกร้าว โดยเฉพาะอย่างยิ่งสำหรับเป้าหมายที่ไม่ใช่โลหะ โดยทั่วไป ส่วนที่บางที่สุดของชิ้นงานไม่ควรน้อยกว่าครึ่งหนึ่งหรือ 5 มม. ของความหนาของชิ้นงานเดิม

โหมดการทำงานของแมกนีตรอนสปัตเตอร์นั้นคล้ายกับโหมดการระเหยทั่วไป ขั้นแรก สุญญากาศถูกสูบไปที่ 1 × 10-2Pa จากนั้นจึงปล่อยไอออนของอาร์กอน (Ar) เพื่อโจมตีเป้าหมาย และทำการสปัตเตอร์ภายใต้ความดัน 5 × 10-1-1{{4 }}พ่อ ระหว่างการชุบ ควรให้ความสนใจกับกระแส แรงดัน และแรงดัน หากการสปัตเตอร์เกิดประกายไฟในตอนเริ่มต้น แรงดันไฟฟ้าจะเพิ่มขึ้นอย่างช้าๆ และสามารถปิดชัตเตอร์ได้หลังจากการคายประจุคงที่ ในระหว่างขั้นตอนนี้ ก๊าซเฉื่อยที่แตกตัวเป็นไอออน (Ar) จะทำความสะอาดและเปิดรูพรุนหลายรูบนพื้นผิวของพื้นผิวพลาสติก และสร้างอนุมูลอิสระโดยการทำความสะอาดพื้นผิวของอิเล็กตรอนและพื้นผิวที่เป็นพลาสติกในตัวเอง และรักษาสถานะสุญญากาศโดยการสปัตเตอร์เพื่อสร้างโครงสร้างเชื่อมโยงพื้นผิว เพื่อให้โครงสร้างเชื่อมโยงพื้นผิวและอนุมูลอิสระสร้างสารเคมีและการยึดเกาะสูงและสูง การยึดเกาะ สถานะรวมทางกายภาพเพื่อสร้างฟิล์มบาง ๆ บนพื้นผิวอย่างแน่นหนา ฟิล์มบางถูกสร้างขึ้นครั้งแรกโดยการเติมรูพรุนของเส้นเลือดฝอยพลาสติกด้วยโครงสร้างพื้นผิวและเชื่อมต่อเข้าด้วยกัน เมื่อเทียบกับการชุบผิวด้วยการระเหยที่ใช้กันทั่วไป จะเกิดการสปัตเตอริงขึ้น , การสปัตเตอร์ริ่งมีข้อได้เปรียบของแรงยึดเหนี่ยวที่แข็งแรงระหว่างชั้นการชุบด้วยไฟฟ้าและพื้นผิว - การยึดเกาะสูงกว่าการชุบด้วยการระเหยมากกว่า 10 เท่า และการชุบด้วยไฟฟ้ามีความหนาแน่นและสม่ำเสมอ

www.superbheater.com