อุณหภูมิพื้นผิวของเครื่องเคลือบลำแสงอิเล็กตรอนของเครื่องขึ้นรูปสูญญากาศนั้นแปรผันตามความเข้มของลำแสงอิเล็กตรอน
ฝากข้อความ
อุณหภูมิพื้นผิวของเครื่องเคลือบลำแสงอิเล็กตรอนของเครื่องขึ้นรูปสูญญากาศนั้นแปรผันตามความเข้มของลำแสงอิเล็กตรอน
อุณหภูมิพื้นผิวของฟิล์มและชิ้นส่วนเครื่องจักรจะแปรผันตามความเข้มของลำแสงอิเล็กตรอน ความเข้มของลำแสงอิเล็กตรอนสามารถควบคุมได้โดยการควบคุมการไหลของกระแสไปยังเส้นใย ดังนั้นการควบคุมอุณหภูมิพื้นผิวของวัสดุฟิล์มบางและชิ้นส่วนที่ตัดเฉือน
เครื่องเคลือบลำแสงอิเล็กตรอนเครื่องขึ้นรูปสูญญากาศจำเป็นต้องอุ่นไส้หลอดก่อน
เมื่อเครื่องเคลือบลำแสงอิเล็กตรอนทำงาน ไส้หลอดจำเป็นต้องอุ่นก่อน กระแสอุ่นไส้หลอดคือ 60-90A และเวลาอุ่นล่วงหน้านานกว่า 20 นาที หลังจากที่ไส้หลอดได้รับความร้อน พลังงานศักย์ของอิเล็กตรอนในไส้หลอด (แคโทด) จะเพิ่มขึ้นเพื่อเตรียมพร้อมสำหรับการปลดปล่อยอิเล็กตรอน ในเวลานี้ เมื่อเปิดแรงดันไฟฟ้า 20KV]JI~ (2) ไส้หลอด (แคโทด) จะเริ่มปล่อยอิเล็กตรอนภายใต้การกระทำของสนามไฟฟ้า ภายใต้การทำงานร่วมกันของระบบโฟกัส คอยล์เบี่ยงเบนและแรงดันเร่ง อิเล็กตรอนที่ปล่อยออกมาจากเส้นใย (แคโทด) จะรวมตัวกันเป็นลำแสงและปล่อยไปยังวัสดุฟิล์มหรือชิ้นส่วนที่ต้องดำเนินการด้วยความเร็วสูงมาก
มาตรการปรับปรุงชั้นฟิล์มของอุปกรณ์ชุบสูญญากาศ:
(1) อบหลังจากชุบ หลังจากเคลือบฟิล์มชั้นสุดท้ายแล้ว อย่าหยุดอบทันที และดำเนินการ "อุณหภูมิ" ต่ออีก 10 นาที ทำให้โครงสร้างฟิล์มมีความเสถียรมากขึ้น
(1) ขยายเวลาการทำความเย็นอย่างเหมาะสมและดำเนินการอายุการหลอม ลดความเครียดจากความร้อนที่เกิดจากความแตกต่างของอุณหภูมิที่มากเกินไประหว่างภายในและภายนอกห้องสุญญากาศ
(2) ในระหว่างกระบวนการระเหยของฟิล์มสะท้อนแสงสูงและฟิล์มกรองแสง อุณหภูมิของพื้นผิวไม่ควรสูงเกินไป และอุณหภูมิสูงจะทำให้เกิดความเครียดจากความร้อนได้ง่าย และมีผลเสียต่อความเสถียรทางแสงของไททาเนียมออกไซด์ แทนทาลัมออกไซด์ และวัสดุฟิล์มอื่นๆ
(iii) กระบวนการเคลือบด้วยไอออนช่วยเพื่อลดความเครียด
(iv) เลือกระบบฟิล์มที่เหมาะสมเพื่อจับคู่ การจับคู่ระหว่างวัสดุฟิล์มชั้นแรกและวัสดุพิมพ์ (ตัวอย่างเช่น ฟิล์มกันแสงสะท้อนห้าชั้นใช้ Al2O3-ZrO2-Al2O3-Al2O3-ZrO2-MgF2 นอกจากนี้ ZrO2 ยังสามารถใช้ SV -5 (วัสดุฟิล์มผสม ZrO2 TiO2) หรือวัสดุฟิล์มดัชนีหักเหสูงผสมอื่นๆ
(V) ลดอัตราการระเหยอย่างเหมาะสม (Al2O3-2.5A/S; ZrO2-3A/S; MgF2-6A/S อัตราอ้างอิง)
(vi) วัสดุฟิล์มออกไซด์ทั้งหมดเติมออกซิเจนและชุบปฏิกิริยา และปริมาณออกซิเจนที่ได้รับจะถูกควบคุมตามวัสดุฟิล์มต่างๆ
www.superbheater.com
