ระดับสูญญากาศของเครื่องเคลือบสูญญากาศส่งผลโดยตรงต่อผลการเคลือบ

ระดับสูญญากาศของเครื่องเคลือบสูญญากาศส่งผลโดยตรงต่อผลการเคลือบ

วิธีการตรวจจับการรั่วไหลของอุปกรณ์เคลือบสูญญากาศ ผู้ผลิตเครื่องเคลือบสูญญากาศแนะนำการตรวจสอบการรั่วไหลของอากาศเป็นมาตรการตรวจสอบเพื่อให้แน่ใจว่าระดับสูญญากาศของอุปกรณ์เคลือบสูญญากาศเรียกว่าการตรวจจับการรั่วไหล ระดับของสูญญากาศส่งผลโดยตรงต่อผลการเคลือบ ดังนั้นการตรวจจับการรั่วไหลคือ จำเป็น น้อยลง

โดยทั่วไป การรั่วไหลของอากาศในห้องสุญญากาศนั้นเกิดจากรูเล็กๆ บางส่วนบนผนังห้องหรือรอยกรีดตำแหน่งการเชื่อมต่อก่อนส่วนประกอบต่างๆ เมื่อระบบดูดอากาศออก ความดันในห้องสุญญากาศจะลดลง และความแตกต่างของความดันระหว่างภายนอกและภายในทำให้ก๊าซหนีออกจากความดันสูง ภายนอกไหลเข้าสู่ห้องสุญญากาศด้วยแรงดันต่ำทำให้ระดับสุญญากาศลดลง

ลำแสงอิเล็กตรอนเคลือบสูญญากาศอาจชนขอบของถ้วยใส่ตัวอย่าง

ในกรณีของอุปกรณ์เคลือบสูญญากาศที่ผิดปกติ เมื่อกระแสลำแสงเพิ่มขึ้น ลำแสงอิเล็กตรอนอาจชนขอบของถ้วยใส่ตัวอย่างเนื่องจากตำแหน่งของลำแสงไม่ได้อยู่ตรงกลาง หรือตำแหน่งของลำแสงอยู่ตรงกลาง แต่วัสดุที่ระเหยถูกเจาะ ฯลฯ จะไม่มีข้อบ่งชี้ถึงความดันสูง ทั้งนี้เนื่องจากเอาต์พุตไฟฟ้าแรงสูงเกิดการลัดวงจรโดยประมาณ ทำให้กระแสลำแสงอิเล็กตรอนมีค่ามากกว่าค่าที่กำหนดไว้ และท่อสวิตช์หลักอยู่ในสถานะตัดกระแสไฟฟ้าแรงสูงทั้งหมด เพื่อให้กระแสไฟสูง - แรงดันไม่มีเอาท์พุต เนื่องจากกระแสลำแสงมากเกินไปที่เกิดจากการจุดระเบิด สัญญาณกระแสเกินที่ได้รับในวงจรตรวจจับกระแส R21 ทำให้ท่อเรกูเลเตอร์ D13 พังและนำไฟฟ้า BG14 BG15 และ BG16 อยู่ในสถานะนำไฟฟ้า และ C13 ปล่อยผ่าน BG14 และ R51 . ตัด BG11, BG12, BG13 เร็วๆ นี้ เอาต์พุต BG11 คือ 0V BG10 บนวงจรสวิตชิ่งแรงดันเกตได้รับสัญญาณอินพุตเป็น 0V และดับลง BG9 จะเปิดทันที ขั้วบวก 550V ต่อกับแคโทดของท่อเมนสวิตช์ผ่าน BG9 และขั้วลบ เชื่อมต่อกับเกตของท่อสวิตช์หลักผ่านท่อ D5 รับ -550V bias และป้อนค่าความลึก ในขณะนี้ยังไม่มีสัญญาณของไฟฟ้าแรงสูง

www.superbheater.com