ประเภทหลอด Pecvd เตาไฟฟ้าที่ใช้ในอุตสาหกรรมไฟฟ้าโซลาร์เซลล์

1, ฟังก์ชั่นหลัก: การสะสมที่มีประสิทธิภาพของฟิล์มบางประสิทธิภาพสูง
เตาเผา PECVD แบบท่อ (พลาสม่าเพิ่มขึ้นของการสะสมของไอน้ำในพลาสมาเป็นอุปกรณ์ที่ใช้กันทั่วไปในการผลิตเซลล์เซลล์แสงอาทิตย์ ฟังก์ชั่นหลักของมันคือการสะสมฟิล์มต่อต้านซิลิกอนไนไตรด์ (SINX) บนพื้นผิวของเซลล์แสงอาทิตย์ซิลิคอนผลึกผ่านเทคโนโลยีการสะสมไอสารเคมีในพลาสมาช่วย ฟิล์มนี้ช่วยเพิ่มประสิทธิภาพของแบตเตอรี่ผ่านกลไกต่อไปนี้:
การเพิ่มประสิทธิภาพแบบออปติคอล: โดยการปรับความหนาและดัชนีการหักเหของฟิล์มบาง Sinx โดยใช้หลักการของการรบกวนแสงเพื่อลดการสะท้อนกลับของพื้นผิวแสงมากขึ้นเข้าสู่การตกแต่งภายในของแบตเตอรี่และประสิทธิภาพการแปลงโฟโตอิเล็กทริกดีขึ้น 1% -2%
พื้นผิว passivation: องค์ประกอบไฮโดรเจนใน SINX สามารถผ่านข้อบกพร่องของตาข่าย (เช่นการเคลื่อนที่และพันธะห้อย) บนพื้นผิวซิลิคอนลดการรวมตัวกันใหม่ของพาหะและเพิ่มแรงดันไฟฟ้าวงจรเปิดและกระแสไฟฟ้าลัดวงจร
การป้องกันเชิงกล: ฟิล์มทำหน้าที่เป็นชั้นห่อหุ้มเพื่อป้องกันการปนเปื้อนหรือความเสียหายทางกลของเวเฟอร์ซิลิคอนในระหว่างกระบวนการต่อไป

2, ข้อได้เปรียบทางเทคนิค: อุณหภูมิต่ำ, ประสิทธิภาพสูง, การควบคุมที่แม่นยำ
กระบวนการตกตะกอนอุณหภูมิต่ำ
เทคโนโลยี PECVD ใช้พลาสม่าเพื่อกระตุ้นก๊าซปฏิกิริยาลดอุณหภูมิการสะสมเป็น 400-500 องศา (CVD แบบดั้งเดิมต้องการสูงกว่า 800 องศา) หลีกเลี่ยงความเสียหายจากความร้อนจากเวเฟอร์ซิลิคอนและวัสดุพื้นผิวที่อุณหภูมิสูงโดยเฉพาะอย่างยิ่ง
อัตราการตกตะกอนสูงและความสม่ำเสมอ
เทคโนโลยีเรืองแสงคลื่นวิทยุ: โดยการสร้างพลาสมาความหนาแน่นสูงผ่านสนามไฟฟ้าความถี่สูง (เช่น 13.56MHz) อัตราการเกิดปฏิกิริยาจะดีขึ้นอย่างมากและอัตราการสะสมสามารถเข้าถึง 10-50 nm/นาที
การควบคุมความสม่ำเสมอ: การใช้การให้อาหาร RF หลายจุด, การกระจายเส้นทางก๊าซที่สม่ำเสมอและระบบควบคุมอุณหภูมิอัจฉริยะเพื่อให้แน่ใจว่าความหนาของความหนาของฟิล์มน้อยกว่าหรือเท่ากับ± 5%ตอบสนองความต้องการของการผลิตขนาดใหญ่
ความหลากหลายของวัสดุ
มันสามารถฝากฟิล์มอิเล็กทริกต่าง ๆ เช่น SiO ₂, Si ∝ n ₄, Al ₂ O ∝ ฯลฯ , การขยายพื้นที่การออกแบบของโครงสร้างแบตเตอรี่ (เช่นแบตเตอรี่แบบซ้อนและแบตเตอรี่แบบพาสเทอต)
การปกป้องสิ่งแวดล้อมและการอนุรักษ์พลังงาน
เทคโนโลยีอุณหภูมิต่ำช่วยลดการใช้พลังงานในขณะที่หลีกเลี่ยงการปล่อยสารอันตรายที่อุณหภูมิสูงซึ่งสอดคล้องกับแนวโน้มของการผลิตสีเขียวในอุตสาหกรรมเซลล์แสงอาทิตย์

3 โครงสร้างอุปกรณ์และพารามิเตอร์สำคัญ
การกำหนดค่าทั่วไป
ระบบทำความร้อน: โซนอุณหภูมิเดี่ยวหรือเตาความต้านทานอุณหภูมิอุณหภูมิที่มีอุณหภูมิสูงสุดด้วยอุณหภูมิสูงสุด 1200 องศาและความแม่นยำในการควบคุมอุณหภูมิ± 1 องศา
ระบบสูญญากาศ: การรวมกันของปั๊มโมเลกุลและปั๊มเชิงกลที่มีระดับสุญญากาศสูงสุดน้อยกว่าหรือเท่ากับ 10 ⁻ PA ตรงตามข้อกำหนดของการสะสมฟิล์มบางที่มีความบริสุทธิ์สูง
แหล่งจ่ายไฟ RF: รองรับการควบคุมความหนาแน่นของพลาสมาที่แม่นยำ
ระบบก๊าซ: Multi Channel Mass Flow Meter (MFC), รองรับ 1-6 ผสมก๊าซ
การควบคุมกระบวนการ
การเขียนโปรแกรมเส้นโค้งอุณหภูมิ: สนับสนุนโปรแกรมการเพิ่มขึ้นและลดลงของอุณหภูมิมากกว่า 30 ส่วนซึ่งปรับให้เข้ากับความต้องการกระบวนการของวัสดุฟิล์มที่แตกต่างกัน
การควบคุมความดัน: ช่วงความดันบวก -100 kpa ถึง 100kpa ซึ่งรองรับการสลับกระบวนการแรงดันต่ำสู่บรรยากาศ
การตรวจสอบอัจฉริยะ: ติดตั้งฟังก์ชั่นเช่นสัญญาณเตือนความร้อนสูงเกินไปการป้องกันกระแสเกินและการตัดการเชื่อมต่อเพื่อให้แน่ใจว่าการทำงานของอุปกรณ์ที่มั่นคง

4, สถานการณ์แอปพลิเคชันและแนวโน้มตลาด
แอปพลิเคชันหลัก
PERC Cell: โดยการวางฟิล์มลามิเนตอัลด้านหลังของอัล₂ o ∝/sinx, ฟังก์ชั่นคู่ของการผ่านด้านหลังและการสะท้อนกลับสามารถทำได้
แบตเตอรี่ TopCon: ใช้การสะสม PECVD ของชั้นอุโมงค์ออกไซด์ (SIO ₂) และชั้นซิลิกอนโพลีคริสตัลลีนเจือเพื่อสร้างช่องทางการขนส่งผู้ให้บริการที่มีประสิทธิภาพ
แบตเตอรี่ HJT: การสะสมของซิลิคอนอสัณฐานที่แท้จริง (IA-SI: H) ที่อินเทอร์เฟซของซิลิกอน/ผลึกซิลิกอนเฮเทอร์ออนเพื่อเพิ่มประสิทธิภาพความหนาแน่นของสถานะข้อบกพร่องของอินเทอร์เฟซ